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红马资本投资企业博鲁斯潘完成光刻机物镜系统超精密加工装备研发任务

就该款光学加工机床,下一个技术目标是突破直径2000mm,同时精度达到0.05微米的光学加工,为中国光刻机母机等高端光学产业做出贡献。
2021-05-24 15:28 · 投资界综合

红马资本投资企业——北京博鲁斯潘精密机床有限公司(以下简称“博鲁斯潘”)于2021年5月完成了国内首台套直径700mm超精密立式柜台数控磨床研发任务。该款机床是在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所专家指导下,由博鲁斯潘自主研发,并于2021年5月18日通过国家机床质检验监督中心检验,精度0.1~0.2微米,优化环境干扰,可以稳态到0.1微米,达到国际先进水平。该款机床主要用于超精密光学器件批量化加工,包括光刻机核心的物镜系统,对我国芯片产业上游突破国外封锁具有重要意义,是解决“卡脖子”问题的关键装备之一。

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博鲁斯潘董事长吴行飞博士表示:公司专攻光学、航空航天、汽车等领域的高档数控机床,以进口替代为目标,目前公司已量产十七轴联动、五轴联动、镜面车削等多款高档产品,质量和稳定性得到客户一致认可。就该款光学加工机床,下一个技术目标是突破直径2000mm,同时精度达到0.05微米的光学加工,为中国光刻机母机等高端光学产业做出贡献。

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