来自苏州，半导体核心零部件企业「清科珈合」完成融资

投资界（ID：pedaily2012）9月1日消息，近日，苏州清科珈合科技发展有限公司（以下简称“清科珈合”）获得投资，资方包括丰年资本、苏高新金控。清科珈合作为半导体核心零部件领军企业，现阶段主要为客户提供高效的半导体液体管路和精密仪器解决方案。清科珈合是国内集成电路领域高端液体流速流量控制器产品唯一实现国产化的供应商。其产品技术解决了流量计高精度、高洁净度及精准控制的问题，已经成功实现了小规模量产。目前企业下游客户包括国内知名Fab厂和设备厂龙头企业等。

目前国产半导体设备厂商及晶圆生产厂对液体流速流量控制器国产化诉求强烈，清科珈合自主研发的集成电路用高端液体流速流量控制器产品关键技术指标达到了国际先进水平，未来发展值得期待。

清科珈合主研的液体流速流量控制器等系列产品作为半导体设备核心零部件，是实现高效生产及产品质量稳定性的基础保证。技术研发门槛高，需要综合超声波信号处理、仿真算法、材料精密加工等技术能力。清科珈合创始团队深耕产业多年，攻克了材料加工、结构设计、算法等相关难题，在液体流量计产品研发方面取得重大进展，重点突破PFA管路高温注塑成型工艺、超短距超声信号提取技术、小口径管路随机湍流速度分布建模等技术，搭建实时响应特性的高性能信号处理电路系统，形成了具有完全自主知识产权的国产高端液体流量流量控制器产品。

高端液体流速流量控制器的核心指标包括计量精度、金属离子溶出量、信号稳定性等参数，在核心指标满足客户要求的情况下，清科珈合充分响应用户需求，不断进行创新研发。在产品中增加防漏液警报功能，并且通过设计优化将体积缩小，帮助客户更好地进行空间设计。无论是在技术性能还是成本上，清科珈合都拥有着极强的先发优势。

经国内知名Fab厂和设备厂龙头企业与中国上海检测中心检测，清科珈合产品在计量精度、金属离子溶出、信号稳定性及响应时间等指标与海外产品均处于同等水平，完全可以满足集成电路设备的技术要求。现有产品可以实现对东京计装和英特格等现有产品的进口替代，性能已经完全对齐海外企业，是目前唯一实现国产化的高端液体流速流量控制器厂商。

随着半导体设备的国产化率提升，国内半导体设备处于快速成长期。而细分到质量流量计及控制器领域，市场虽然成熟但目前各类产品基本被美国和日本企业垄断，产品迭代速度缓慢。国内此前尚未出现从事高端液体流速流量控制器领域的企业，清科珈合填补了国内的技术空白。清科珈合是目前国内唯一在产品性能可以对标，且设计上更符合本土设备厂要求的液体流速流量控制器厂商。也是国内唯一通过半导体头部厂商样品认证的液体流速流量控制器企业。

目前市场被国外厂商垄断，国产半导体设备厂商及晶圆生产厂对液体流量计国产化诉求强烈。清科珈合为国内半导体设备和晶圆企业提供了国产替代的选择，助推了本土半导体产业国产化的实现。为实现量产，清科珈合设计并正在建设满足半导体设备标准的气液流速流量计生产线。公司流量计产品已装备国内头部Fab厂和设备厂机台进行可靠性测试，预计2023年将实现中等规模量产。近期已获得国内知名Fab厂和设备厂龙头企业小批量产品订单。

丰年资本董事总经理甘泉表示：随着美国、日本及欧洲等国家和地区对中国半导体产业限制的进一步加剧，半导体设备及其零部件的国产替代至关重要，迫在眉睫。清科珈合的创始团队作为国家02专项子项目组核心成员，在液体流速流量控制器产品研发上取得了重大突破，重点解决了液体流量计及控制器高计量精度、高控制精度及高洁净度的问题。目前，清科珈合自主研发的集成电路用液体流速流量控制器的关键技术指标达到国际先进水平，已获得国内知名Fab厂和CMP龙头企业的认证和订单，是国内集成电路领域高端液体流速流量控制器的唯一国产化供应商。

清科珈合长期以来专注于半导体行业，为国内半导体设备和晶圆企业提供了国产替代的选择，加快了半导体本土产业的国产化进程。我们看好企业在半导体气液流速流量控制器的产品能力，并期待清科珈合能够实现长期快速的发展。