集成电路工艺检测设备供应商上海睿励获1.2亿元人民币融资

投资界（微信ID：pedaily2012）11月15日消息，睿励科学仪器(上海)有限公司(以下简称“睿励”)宣布已获得超过1.2亿元人民币融资,出资人包括浦东科创集团、上海同祺、海風投资等机构投资人。所融资金将用于迭代产品的研发投入和补充流动资金需要。

自2005年公司成立以来，睿励一直致力于研发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备。经过多年的发展，睿励目前已经成长为国内技术领先的集成电路工艺检测设备供应商，已申请国内外专利130余项，其中已授权发明专利63项，获得软件著作权登记30余项。

公司自主研发设计的用于集成电路前道生产工艺的光学薄膜测量设备已经被国内外多家知名300mm芯片生产企业采购并上线使用，是唯一在某全球领先的三维闪存生产线上使用的中国设备。该国际客户继在2015年首批采购数台睿励的光学薄膜测量设备后，于2018年追加采购了2台睿励的设备，充分体现了重要客户对睿励产品技术和服务的认可，也给了睿励人坚持和坚守的信心。

本次融资在国产设备龙头企业及业界知名企业家和投资人的共同帮助下完成，使睿励得以克服成长过程中的困难并重新回到快速发展轨道。